Yarıiletken endüstrisi, grafit malzemeleri için, özellikle haç ve sinterleme kalıpları gibi yarı iletken malzemelerle doğrudan temas eden grafit bileşenleri için mümkün olan en yüksek saflığı gerektirir. Aşırı safsızlıklar yarı iletken malzemeleri kirletebilir. Bu nedenle, sadece çiğ grafitin saflığı kesinlikle kontrol edilmekle kalmaz, aynı zamanda kül içeriğini en aza indirmek için yüksek sıcaklık grafitizasyonuna uğrar.
Yarı iletken endüstrisi de ince taneli grafit gerektirir. İnce taneli grafitin sadece hassasiyetle işlenmesi daha kolay değil, aynı zamanda yüksek sıcaklık mukavemetine ve minimal aşınmaya da sahiptir. Özellikle sinterleme kalıpları son derece yüksek işleme hassasiyeti gerektirir. Yarı iletken endüstrisinde kullanılan grafit bileşenleri (ısıtıcılar ve sinterleme kalıpları dahil) tekrarlanan ısıtma ve soğutma döngülerine dayanması gerektiğinden, grafit malzemesi, ömürlerini en üst düzeye çıkarmak için yüksek sıcaklıklarda mükemmel boyutsal stabilite ve termal şok direnci sergilemelidir. Petrol Kola'dan yapılmış grafit, yüksek mekanik mukavemete sahip ince taneli bir malzemedir. Hakemler, ince plakalar, diskler, vakum için ısıtıcılar ve yüksek frekanslı fırınlar, ısı kalkanları, saf metalleri eritmek için grafit kaplar, grafit kaplar, yüksek sıcaklık deney ekipmanı, sıcak basınç kalıpları ve filtreler için kullanılabilir. Bu malzeme, inert veya koruyucu atmosferlerde 2500 derecenin altındaki sıcaklıklarda çalışabilir.
Koruyucu bir tabakaya sahip ultra saf, yüksek mukavemetli grafit, bir vakumda saflaştırılmış ve gazı, ardından pirolitik karbon ile yüzey yoğunlaşması olan sıradan ince taneli grafitten yapılır. Bu ürünler (ısıtıcılar, diskler, grafit yemekleri, vb.) Gaz epitaksiyal büyüme yöntemi kullanılarak silikon ince filmleri yetiştirmek için kullanılabilir. Pirolitik karbon tarafından oluşturulan yoğunlaştırılmış koruyucu tabakanın kalınlığı 2 mm'den fazla değildir. 0.1 mm kalınlığa kadar ince bir pirolitik grafit tabakası da yoğunlaştırılmış ürünün yüzeyine birikebilir.